精密平面气浮运动台

产品特点

<< 气浮导轨，性能精度                                      << 高重复定位精度

<< 平面式气浮，避免阿贝误差影响                         << 高定位精度

<< 高速，快速的整定时间                                      << 可选光栅或激光尺位置反馈

<< 龙门式双驱结构，承载能力强                            << 优化后的线缆管理系统

背景介绍

QFHDS系列平面式气浮台，采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提的同时，也提供了动态性能。广泛应用于半导体加工、检测等行业。

结构优势

QFHDS结构采用的气浮导轨设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。用此材料及结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，速度达到1m/s,加速度可达4g.利用多年的气浮轴承制造经验，开发一种新的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。

直驱设计

采用无铁芯直线电机驱动，实现了平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面，以提高直线度、平面度和倾角误差等，同时电机是隔热的，对于高占空比应用，电机可选水冷或气冷，尽量避免因电机发热引起的误差。

线缆管理

精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作。

其他设计

根据应用，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺闭环反馈，提升系统精度性能

联系方式  壹捌壹肆伍陆陆捌柒零贰